【概要描述】
通过采用专用的运动控制器DMC-4040-P，运用专用的轨迹扫描和数据处理模式，对涂覆后的晶圆做分层扫描，通过不同的起始深度可以发现产品内部不同的分层缺陷，从而实现整体的缺陷识别。
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